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基于硅压阻式压力传感器原理的特殊应用
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随着科技的不断发展，传感器成为了科技发展中必不可少的重要元素，硅压阻式压力传感器则是以体积小、灵敏度高、技能老练等长处成为了传感器中的新秀，目前已经得到了广泛的应用。硅压阻式压力传感器是采用硅压阻原理，利用单晶硅良好的机械性能和电学性能，通过扩散或离子注入工艺将对压力敏感的电阻注入到感压薄膜中，实现感压元件和转换电路的集成而制作的传感器。在工业实践中由于硅压阻压力传感器是以硅材料为基础的物性型传感器，硅材料受环境温度影响较大，致使零点漂移和灵敏度漂移，因而温度抵偿问题是进步传感器功能的一个关键环节。
硅压阻式压力传感器 27AND37 则是采用 Measurement Specialties 专有 UltraStable™ 冲模来提供大温度范围内的出色性能和长期稳定性。由于其特点该传感器的测量仪和压差范围在0-15 到 0-250 psi 之间可用。硅压阻式压力传感器也会随着温度的变化，使得硅应变片的电阻也会发生变化，同时压阻应变系数会发生变化，因此压力传感器的灵敏度和零位输出也会产生变化。所以在电路中对这种变化中它使用了激光调节电阻器在 -20ºC 到 +85ºC 的范围内提供积分温度进行了补偿，而无需加任何外部补偿。其中它还包含了另外一个激光调节电阻器，可通过对外部差分放大器的增益进行编程来标准化压力敏感度变化。这可以提供 ±1% 的敏感度可互换性。
硅压阻式压力传感器在各行业中被广泛的应用：例如：在医疗器械中的应用，据称一些大的医疗机械制杀菌每年要使用近500万只压力传感器。硅压阻式压力传感器拥有体积小，重量轻，灵敏度高等特点主要用于检测医用消毒柜内的杀菌气体的压力，且保证气体浓度足够，此外他还为手术钳之类的医疗机械提供了消毒保证。硅压阻式压力传感器还可应用于气体流量的测量这里主要针对小流量，比如当机器设备启动时，硅压阻式压力传感器可以检测到散热设备的风扇是否有转动，并且通过检测风扇的空气流速和流量来确定风扇的间歇性。除此之外硅压阻式压力传感器还可检测暖通空调管道中因不同区段安装而含有气压传感器的设备以此来检测不同管道的气压大小，从而得知不同区段不同房间上的空调是否在工作。硅压阻式压力传感器在捡漏中的应用也是非常受欢迎的，它可以在密闭容器或实验空间内在气体压强不变的情况下，检测出因为气体漏气的状态下，而导致气压产生变化，从中检测出变化量，从而得知漏气，典型应用消毒柜，实验箱等。由于硅压阻压力传感器通常有四个力敏电阻组成全桥式的惠斯登桥路，四个电阻虽都受到横向压力，但是硅压阻压力传感器输入和输出之间还是存在着良好的线性关系，且有相似的非线性特性，所以构成全桥时，非线性特性可相互抵消，因此非线性可以做得很小。
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