WAT：Wafer Acceptance Test

CP：Chip Probing

PCM：ProcessControl Monitor

PCM=WAT，国内以前叫PCM，境外叫WAT，名字不一样，事情是同样的。现在PCM比较少用，基本都用WAT。PCM或WAT是为了工艺监控而设定的一种测试，测试结构（testkey）都是为了工艺监控而特定设计的。早期工艺，这些测试结构都要占据几个芯片位置，一般是9个或5个芯片位置，随着工艺复杂，先进，芯片位置极其宝贵，这些测试结构就被安排在了无用的切割道中。CP是测试晶圆，测试芯片的性能。