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晶圆来片正面发黄可能是什么原因?Al pad,打不上线。 关注
融创小哥哥 · 2020-10-26 · 796 · 1 · 0
晶圆来片正面发黄可能是什么原因?Al pad,打不上线。
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八爷很帅 回复于 2020-10-29

颜色差异,说明是光反射有差异:可能和薄膜厚度,材质有关。裸露金属颜色差异,与膜厚度没有关系,那说明材质发生异常,材质异常有可能是材质本身异常,比如形貌凹凸不平,被腐蚀,氧化等。还有可能表面材质不是原来材质,比如可能有某些材质没有被刻蚀干净。

基于以上基本分析原则,可以使用EDX分析,截面看膜厚度等分析技术

 

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