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WLCSP FT中出现的一些失效问题 关注
Catherine · 2020-09-16 · 516 · 1 · 0
对于WLCSP FT中出现的一些失效(比如O/S)去分析厘清root cause是和bumping工艺有关还是wafer本身一般是怎么做的,没有做CP。
1个回复
面码 认证大咖

面码 回复于 2020-09-17

首先检查mapping,有规律、有划痕之类(是foundry的问题的可能性偏大),另外就是要看OS是在第一次测试Fail(来料问题可能性大),还是第二次测试Fail(测试问题)。之后这些信息确认了,做OBIRCH,发现亮点。首先按你想确认的,是Bumping或者晶圆工艺问题。

Bumping参考大家说的,去掉锡球再测量一下电性/IV(排查Bump连接性?)。然后再去掉PI,根据亮点位置一层一层delayer观察metal层(RDL有问题也会有亮点,OM应该能观察到吧?)。Delayer下来,除了发现烧伤,一般发现的晶圆问题都在Metal 1 CNT连接异常或者是金属桥接(异常小可以配合SEM观察)。另外delayer是平面研磨,也可以尝试在亮点竖切(FIB)。对于bumping-特别注意的failure mode:一个是seal ring结构跟bumping 制程的window第二要看plasma induced defect第三特别注意seed layer, 第四是界面的污染和Delam。如果是EEPROMwafer bump x-ray inspection要控制。

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