提起光刻机,不得不说是国内半导体行业的痛,国产光刻机已经有近60年的发展史,比全球顶级光刻机厂家ASML还要早20余年。然而据相关人士爆料国产光刻机现在的水平和荷兰ASML公司还有很大的差距,如果华为提前启动光刻机研究计划,国产光刻机发展的历程应该更加缓慢。
目前国产光刻机的厂家有上海微电子装备、合肥芯硕半导体、京先腾光电科技、无锡影速半导体科技等。然而其中规模最大、技术最先进的就是上海微电子装备有限公司,可以生产90nm工艺技术的光刻机。据相关媒体报道,在2018年11月国产光刻机的紫外光源突破了22nm分辨率,意味着可以生产22nm的光刻机,目前还没有实现量产。
对于光刻机来说掌握核心关键部件的技术就可以突破光刻机发展的瓶颈,光刻机的关键部件的顶级技术全部掌握在西方等国家手里。光源是光刻机的核心之一,光刻机的工艺技术首先就要取决于其光源的波长,目前荷兰最先进的光刻机采用的是极紫外光源,配备在7nm以下的高端EUV光刻机,目前世界上只有荷兰ASML公司能够提供可量产的EUV光刻机。荷兰ASML高端光刻机的光源是由美国的公司提供,光源可以说是世界上最顶级的配件。
镜头也是光刻机最核心的部件。采用的可不是一般的镜头,可以达到高2米直径1米,甚至更大。荷兰ASML用的是世界最好的老牌光学仪器公司德国蔡司的镜头。荷兰ASML光刻机还有很多其他的关键的零部件都是来自世界顶级厂家。所以说荷兰顶级光刻机单独靠荷兰一个国家是不可能生产出来的。荷兰光刻机百分之九十的配件都是对外采购,这样就能保证使用的是全球最先进的配件。所以说,荷兰ASML光刻机是全球人类科技的结晶。
国产光刻机可以说发展的缓慢,因为不管是荷兰的顶级光刻机,还是光刻机中最关键的零部件,受到美国制约,都无法向国内出售。所以说研究高端光刻机,很多关键部件无法用世界上顶级的厂家生产的,所以国产光刻机的关键部件的突破是非常困难。
华为已经拥有了研发高端芯片的能力,就这已经受到了美国的打压,如果华为提前研究光刻机,暂且不说技术能否得到突破性进展,但是肯定早就受到美国的打压,很可能就没有现在掌握5G核心技术的华为了。