在工业领域作业中，最常用的准分子波长是172nm，其能量足以直接裂解所有有机分子的主要键，除了碳和氧之间的键和一些无机氧化物之间的键，这使其成为表面改性、光清洗和光固化的绝佳选择。

准分子灯，又称紫外线准分子灯，是利用准分子气体比例，获得172nm、222nm或308nm等不同单色波长的高强度准分子紫外光，准分子发射的紫外光具有单光谱特性。窄的谱线和单色的紫外线辐射光谱，使其能够使用更集中的功率进行光处理。

与普通汞紫外线灯相比，准分子紫外线灯功率极大，靶向更为精准，无汞，绿色环保，可回收，无二次污染。它们克服了现有的技术瓶颈，具有能量密度高、反应温度低、反应时间短等特点，在微电子、医药、、生态环境保护等领域得到了广泛而独特的应用。

准分子灯最常见的应用是清洁微电子产品。当紫外线照射到固体表面后，表面污染物的有机分子被强烈的光能切断和氧化，进而分解为氧和氢等挥发性物质，最后挥发消失，清洗后的表面清洁度极高。

在使用紫外准分子灯进行清洁时要注意紫外线的辐射强度，辐射强度的大小对最终的清洗效果是有一定影响的，辐射强度低清洁效果不理想，工采网技术工程师推荐使用紫外线传感器来进行UV准分子灯的紫外线辐射强度监测，如工采网代理的韩国GENICOM 紫外线传感器 - GFUV-T10GD-L，以氮化镓铝为基础的材料，Schottky-type光电二极管，光伏模式操作；适用于远紫外线监测、准分子灯监控。